AMEC: maszyny litografii 5 nm dla TSMC
Urządzenia firmy AMEC (Advanced Micro-Fabrication Equipment) zostały pozytywnie zweryfikowane (w Europie byłaby to certyfikacja) przez techników firmy TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company). Chodzi o sprzęt wykorzystujący plazmę a wykorzystywany na potrzeby wytwarzania w litografii 5 nm.
TSMC wykorzysta maszyny nowego typu dostarczone przez AMEC tak, by ruszyć z produkcją seryjną w litografii 5 nm EUV pod koniec 2019 roku lub na początku roku 2020.
Współpraca firm AMEC i TSMC nie jest niczym nowym. Wcześniej Chińczycy dostarczali już maszyny na potrzeby litografii 28 nm, 10 nm i 7 nm (ta ostatnia to wielki sukces firmy TSMC).
Źródło: DigiTimes