Robot Dextro firmy Lam Research zapewnia 2-krotną precyzję w konserwacji półprzewodników

Firma Lam Research wprowadziła właśnie na rynek Dextronowego robota współpracującego zbudowanego specjalnie w celu sprostania wyzwaniom związanym z konserwacją sprzętu do produkcji półprzewodników. Ten mobilny robot działa już w kilku zaawansowanych technologicznie fabrykach wafli na całym świecie, obsługując od 50 do 100 komór w narzędziach Lam, które wymagają comiesięcznej konserwacji.

Dextro został zaprojektowany w celu rozwiązania niektórych z największych wyzwań związanych z konserwacją półprzewodników i ma trzy wyróżniające się cechy. Po pierwsze, instaluje części eksploatacyjne z ponad dwukrotnie większą dokładnością niż praca ręczna, co pomaga zwiększyć wydajność trawienia na krawędziach płytki. Robot dokręca również śruby uszczelnienia próżniowego zgodnie z precyzyjną specyfikacją, eliminując zwykły 5-procentowy poziom błędu ludzkich rąk. Zmniejsza to ryzyko wahań temperatury w komorze, które mogłyby zakłócić produkcję.

Ponadto Dextro posiada zautomatyzowaną technologię czyszczenia i usuwania polimerów, która może usuwać nagromadzone w komorze ścianki boczne bez konieczności demontażu dolnej komory. Sprawia to, że cały proces jest bezpieczniejszy, eliminując potrzebę stosowania sprzętu ochronnego, takiego jak maski oddechowe, które były niezbędne podczas ręcznego czyszczenia.

Young Ju Kim, wiceprezes i szef zespołu technologii wytrawiania pamięci w Samsung Electronics, podzielił się swoimi przemyśleniami na temat znaczenia szybkiej i wydajnej konserwacji: "Kiedy sprzęt produkcyjny wymaga konserwacji, praca musi być wykonana szybko i sprawnie, aby uniknąć dłuższych przestojów narzędzi i zmarnowanych kosztów. Bezbłędna konserwacja wykonywana przez Dextro pomaga zwiększyć zmienność produkcji i wydajność"

Obecnie Dextro współpracuje z narzędziami do trawienia dielektrycznego z serii Flex G i H firmy Lam, a plan zakłada rozszerzenie jego kompatybilności na więcej urządzeń do 2025 roku. System działa na mobilnym wózku i jest kontrolowany przez techników lub inżynierów, używając różnych efektorów końcowych do każdego zadania konserwacyjnego.